走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
Scanning Probe Microscope

測定原理


●SPM装置模式図

mcanac

カンチレバー先端の探針(プローブ) を試料表面に近づけて、両者の間に働く物理的相互作用を検出することで、局所的な情報（表面形状や表面物性）を取得する。

  • 装置仕様
  • 測定領域 (max)：150 μm × 150 μm (X、Y)
  • 測定高さ (max)：15 μm (Z)
  • 分解能 (理論)：0.2 nm (X、Y)、0.01 nm (Z)
  • 測定環境
  • 大気中、真空中、(液中)
  • 温度可変測定 (-120 ℃ ～ 300 ℃)
  • 湿度可変測定 (0%RH ～ 80%RH)
  • 非暴露測定 (Ar、N2 等)


SPMによる各種評価


mcanac


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