分解能 ※1
Z (高さ)
X,Y(平面) |
Z：0.01 nm ※2
X、Y：0.2 nm ※2 |
Z：10 nm
(Sq 分解能 ※3：0.1 nm)
X、Y：0.48 μm ※4 |
Z：10 nm
(Sq 分解能 ※3：1 nm)
X、Y：0.52 μm |
Z：0.02 μm ※6
X (横方向)：0.1 μm ※7 |
| 測定領域 |
XY
0.5 × 0.5 μm
～ 100 × 100 μm |
XY
112 × 112 μm
～ 1.1 × 1.1 mm ※5 |
XY
129 × 129 μm
～ 1.2 × 1.2 mm ※5 |
X
0.15 ～ 150 mm |
最大
測定高さ |
15 μm |
10 mm |
2 mm |
400 μm |
| 特徴 |
- 高分解能(Å オーダー)
- ISO25178 準拠
- 広範囲・凹凸の大きい試料は測定不可
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- 非接触測定
- 膜厚・界面測定が可能
- ISO25178 準拠
- 急峻な形状には不向き
- 広範囲測定が得意
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- 非接触測定
- 膜厚・界面測定が可能
- ISO25178 準拠
- 急峻な形状も測定可能
- 光学観察が可能
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- 国際規格に準拠している(JIS、ISO)
- 柔らかい材質の場合には接触針により表面が傷つく
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